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智能真空泵監(jiān)測方案, 完美消除半導(dǎo)體制程風(fēng)險(xiǎn)

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更新日期:2022-10-09    瀏覽次數(shù):102    下載次數(shù):0
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半導(dǎo)體晶圓制程一刻千金,一旦生產(chǎn)設(shè)備發(fā)生故障或失誤,造成的損失難以估計(jì)。對此,固德科技與凌華連手推出真空泵智能監(jiān)測解決方案,化解業(yè)界長期存在的痛點(diǎn),協(xié)助提升產(chǎn)能與良率。