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濕度傳感器主要用于測(cè)量或控制氣體的相對(duì)濕度或絕對(duì)濕度、露點(diǎn)等。也可以間接地控制溫度。下面對(duì)其典型應(yīng)用作一介紹。
（一）在濕度測(cè)量系統(tǒng)中的應(yīng)用
    (1)在70℃以下（通常在-40℃以上）時(shí)，若環(huán)境較干凈，則使用高分子傳感器，污染嚴(yán)重的使用陶瓷傳感器（加熱清洗再生型）。由于它存在加熱清洗過(guò)程，不能連續(xù)測(cè)量，且耗能較大(1～10W)。但壽命長(zhǎng)，使用時(shí)可選加熱清周期較長(zhǎng)的傳感器，如氯氧基磷灰石陶瓷傳感器，2～3個(gè)月洗一次，此外，內(nèi)熱式比外熱型耗能低。
    (2)在70～100℃范圍內(nèi)測(cè)濕度，使用具有加熱清洗的陶瓷傳感器，為提高精度可進(jìn)行線性及溫度補(bǔ)償。為了實(shí)現(xiàn)更高精度則要配以微機(jī)．在高溫高濕時(shí)需頻繁地加熱清洗，如80% RH以上時(shí)，需30S清冼一次，最好裝有自動(dòng)加熱清洗裝置。
    (3)在100～150℃范圍內(nèi)測(cè)濕度，在國(guó)際上，大都采用陶瓷濕度傳感器制作高溫濕度儀。
（二）在工業(yè)過(guò)程自動(dòng)控制中的應(yīng)用
    為了改善產(chǎn)品的質(zhì)量和節(jié)能，通常在產(chǎn)品干燥系統(tǒng)、反應(yīng)堆的濕度控制、鍋爐水蒸氣的漏泄檢測(cè)、集成電路或磁頭加工廠的空調(diào)等大都使用陶瓷濕度傳感器進(jìn)行控制；各種空調(diào)系統(tǒng)、醫(yī)療系統(tǒng)的濕度控制可采用高分子或陶瓷濕度傳感器進(jìn)行。
（三）在蒸汽檢漏系統(tǒng)中的應(yīng)用
    在火力發(fā)電站、原子能電站、蒸汽機(jī)車、鍋爐等高溫高壓設(shè)備中，為了預(yù)防漏氣，防止人身事故，可使用濕度傳感器進(jìn)行檢漏。
（四）在其他系統(tǒng)中的應(yīng)用
    在家電中結(jié)露傳感器可用作磁帶錄像機(jī)結(jié)露檢測(cè)，汽車車窗結(jié)露、結(jié)霜檢測(cè)等。
    濕度傳感器的應(yīng)用推動(dòng)了對(duì)微電子電路封裝故障機(jī)制的分析，因集成電路失效與濕度有很大關(guān)系。美國(guó)麻省理工學(xué)院把微濕傳感器裝在芯片上，對(duì)其失效進(jìn)行早期報(bào)警實(shí)驗(yàn)成功。為了確保軍用器件的高可靠性，Panamclrics公司把微濕傳感器封裝在集成電路殼體內(nèi)，檢測(cè)其早期失效。