發布日期：2022-11-05 點擊率：29
在真空室中有許多工藝需要向該室引入電極。通常做成電極導入部件(包括電極結構、引入導線)，利用真空靜密封與真空室連接。這些導線與導線之間、導線與真空室壁之間應當滿足電絕緣、真空密封和承受一定的電流負荷。
電極引入線、電極密封材料的選擇取決于工作電壓、電流、頻率、溫度等，通常電極引入線分為永久密封電極引入線和可拆密封電極引入線。前者用于高溫可烘烤與各種真空測量規管中，后者用于一般高真空抽氣系統中。
永久密封電極引入線采用玻璃金屬封接或陶瓷金屬封接，根據外形分為桿密封、芯柱密封、帶狀密封、盤形密封和杯形密封等。
強電流或高壓引入線通常將兩種密封形式結合使用。引入線和玻璃(或陶瓷)采用永久封接，封好的電極引線和電空室(管道)的密封采用可拆(或半可拆封蠟)密封。
(慧樸科技，huiputech)
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