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　　MEMS傳感器熱點(diǎn)應(yīng)用轉(zhuǎn)向消費(fèi)電子

    “以往的MEMS傳感器價(jià)格昂貴，一般用于軍工、工控、儀器儀表等應(yīng)用。通過(guò)多年的發(fā)展，其尺寸不斷縮小，技術(shù)不斷成熟，成本一再降低。目前MEMS傳感器的熱點(diǎn)應(yīng)用市場(chǎng)將轉(zhuǎn)變?yōu)槊裼卯a(chǎn)品市場(chǎng)。”青鳥(niǎo)元芯微系統(tǒng)科技有限公司的總經(jīng)理張威如此評(píng)論MEMS的發(fā)展歷程。青鳥(niǎo)元芯的MEMS傳感器系列2004年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，目前有MEMS壓力傳感器、濕度傳感器、加速度傳感器以及氣體傳感器系列產(chǎn)品。

    青鳥(niǎo)元芯采用與國(guó)際同步的MEMS工藝和專(zhuān)用設(shè)計(jì)工具，產(chǎn)品具有高可換性及高可靠性等技術(shù)特點(diǎn)。其中，濕度傳感器為高分子電阻型，具有耐高濕、量程寬、精度高等特點(diǎn)；壓力傳感器和加速度傳感器采用壓阻原理，輸出信號(hào)大、信號(hào)檢測(cè)容易，產(chǎn)品主要應(yīng)用在汽車(chē)、消費(fèi)電子如家用電器、玩具等領(lǐng)域。比如該公司的YX-AS-800N加速度模塊，分辨力低于2mg，最大抗沖擊能力達(dá)50,000g，響應(yīng)帶寬可以從30Hz擴(kuò)展到160Hz。

    該公司還開(kāi)發(fā)出一系列氣體類(lèi)MEMS傳感器，如YX-GS-800M乙醇?xì)怏w傳感器、 YX-GS-200甲烷氣體傳感器，以及YX-GS-500一氧化碳傳感器。張威認(rèn)為，這類(lèi)產(chǎn)品市場(chǎng)前景很好，市政建設(shè)和社會(huì)對(duì)綠色環(huán)保的關(guān)注是推動(dòng)該市場(chǎng)需求的強(qiáng)大動(dòng)力。“我們不僅有價(jià)格優(yōu)勢(shì)，還在不斷擴(kuò)展產(chǎn)品量程，采用新技術(shù)提高產(chǎn)品精度和穩(wěn)定性。”他表示，“同時(shí)，我們將不斷幫助客戶完善和開(kāi)發(fā)產(chǎn)品應(yīng)用方案，使他們最大程度的同我們分享MEMS技術(shù)帶來(lái)的效益。”

    青鳥(niǎo)元芯的同行，主攻加速度傳感器的美新半導(dǎo)體亦認(rèn)為傳感器應(yīng)用市場(chǎng)將會(huì)有所變化。其工程部經(jīng)理華亞平認(rèn)為：“隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，MEMS傳感器將會(huì)越來(lái)越多地跨越價(jià)格的門(mén)檻走進(jìn)消費(fèi)電子市場(chǎng)。”

    與青鳥(niǎo)元芯的MEMS加速傳感器采用壓阻原理不同，美新加速傳感器采用熱力學(xué)原理來(lái)測(cè)量速度的變化。密封在芯片中的測(cè)量媒質(zhì)是空氣，芯片中間有一個(gè)熱源，當(dāng)被檢測(cè)物體受到外力作用產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)或者加速度的時(shí)候，可測(cè)量出被檢物體的加速度改變。華亞平表示，美新的加速度傳感器沒(méi)有可動(dòng)零件，具有本質(zhì)上的高可靠性、易集成、低成本等優(yōu)點(diǎn)。

    一般來(lái)說(shuō)，汽車(chē)是加速度傳感器最重要的應(yīng)用領(lǐng)域，在停車(chē)、緊急剎車(chē)、防盜系統(tǒng)中，加速度傳感器可以作為汽車(chē)的觸覺(jué)系統(tǒng)，迅速將速度變化反饋給CPU，而相應(yīng)地采取應(yīng)急措施。“在汽車(chē)市場(chǎng)，我們可以說(shuō)是已經(jīng)取得了市場(chǎng)和客戶的認(rèn)可，同時(shí)也開(kāi)始獲得一些回報(bào)：如美新與德州儀器公司合作，在汽車(chē)電子領(lǐng)域已獲得了不少的項(xiàng)目，同時(shí)，一些全球著名的汽車(chē)電子制造商正逐步加大對(duì)美新產(chǎn)品的采購(gòu)量。”華亞平說(shuō)。據(jù)介紹，2004年美新產(chǎn)品的失效率僅1.08ppm；2005年，失效率為3.56ppm(由于銷(xiāo)售量大幅增長(zhǎng)，統(tǒng)計(jì)基數(shù)與2004年不同)，“這樣的MEMS產(chǎn)品可靠性在全球都是領(lǐng)先水平。”他表示。

    與此同時(shí)，加速度傳感器在手機(jī)、手提電腦，游戲機(jī)等便攜式產(chǎn)品中的應(yīng)用也在不斷創(chuàng)新，IBM公司2004年即在其ThinkPad筆記本電腦中采用了美新的加速度傳感器，用來(lái)檢測(cè)硬盤(pán)的震動(dòng)，在筆記本電腦受到?jīng)_擊或者墜落的情況下，起到保護(hù)硬盤(pán)數(shù)據(jù)的作用。該類(lèi)傳感器還可以為手持產(chǎn)品增加許多新賣(mài)點(diǎn)，比如在手機(jī)中利用加速度傳感器實(shí)現(xiàn)計(jì)步器功能，計(jì)算運(yùn)動(dòng)者的步行數(shù)目和消耗的熱量。

    美新正進(jìn)一步向消費(fèi)電子市場(chǎng)擴(kuò)張。“今年我們將主要針對(duì)該市場(chǎng)推出一系列低價(jià)產(chǎn)品，目前已完成工程樣片，預(yù)計(jì)第二季度將會(huì)量產(chǎn)。同時(shí)也會(huì)推出一系列汽車(chē)用高性能產(chǎn)品。”華亞平表示。同時(shí)，他還強(qiáng)調(diào)了其技術(shù)支持策略，“我們?cè)谑袌?chǎng)上推廣的所有應(yīng)用，都有相應(yīng)的解決方案，美新對(duì)于每種應(yīng)用都可以提供給客戶通用語(yǔ)言的源程序，以利于客戶的研發(fā)。”