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科普知識
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壓力傳感器

科萊特壓力傳感器技術介紹

發布日期:2022-10-09 點擊率:214 品牌:科萊特_Kulite

在壓阻傳感器科學工程領域,Kulite被公認為全球領頭者。硅壓阻壓力傳感器是Kulite的核心 產品,但是Kulite已經將過去簡單的橋路電阻傳感器升級到高技術的硅絕緣傳感器--無引線 傳感器,這是Kulite的一個創新設計,使其可用于高振動、高加速度和高溫環境。 此外,Kulite是第一商用裸硅應變片供應商。 Kulite一直致力研究發展新傳感技術,同時也在升級現有產品。
目前我公司重要發展產品如下:
   ※ 高溫無引線壓力傳感器,可持續工作在550℃,可瞬態工作于650℃。
   ※ 水冷式/ 氣冷式壓力傳感器可工作于550℃-1100℃
   ※ 高溫電路,可工作于250℃高溫環境
   ※ 加速度補償型壓力傳感器
   ※ 壓縮機和燃燒不穩定性脈動壓力測量
   ※ 動態壓力和靜態壓力同時測量型壓力傳感器
   ※ 加速度不敏感型壓力傳感器
   ※ 用于飛行試驗的高溫扁平外殼型壓力傳感器
   ※ 數字修正型壓力傳感器
   ※ 取代電位計的固態技術
   ※ 壓力 / 溫度復合型傳感器
   ※ 世界最小的壓力傳感器

壓力傳感器
※ 高過載壓力:5到200倍額定壓力不會影響傳感器性能,包括差壓傳感器的“兩方向”過載壓力;
※ 壓力范圍:從1psi滿量程到30000psi滿量程(絕壓、表壓、密封表壓、差壓)
※ 苛刻工作溫度范圍:可在550℃高溫下持續工作;可在零下196℃低溫條件下持續工作
※ 同步的動、靜態壓力測量:用同一個傳感器即可測量穩態壓力,也可測量動態壓力
※ 橋路電阻:典型電阻值為1000歐姆,可根據用戶要求定制350-4000歐姆電阻
※ 承受高振動:100g峰值,正弦10Hz-5KHz
※ 校準:根據客戶要求特殊選項供參考
壓力傳感器通用性能
※ 傳感器輸出:
  非放大輸出型:100mV(典型滿量程輸出值,部分產品滿量程輸出從30mV到300mV)
   放大輸出型:標準輸出信號選項有0 – 5VDC, 0.5 – 5VDC, 0 – 10VDC, 4 – 20mA(其他輸出根據用戶要求定制)
※ 傳感器外形/構造:多種傳感器形狀可供選擇,包括多種壓力接口和電氣連接
※ 潛水型壓力傳感器/變送器:防水型的壓力傳感器可在水下1100英尺(330米)深工作
※ 壓力開關:一個壓力開關件上有一個或多個壓力開關量輸出。可用于高振動、惡劣的環境下,以及要求精確的端點設置場合。

Kulite無引線技術:
  傳統地,傳感器硅芯片和傳感器其它電路是通過細金絲連接起來的。這些細金屬線被焊接到傳感器芯片的金屬焊點上,然后再到管腳或變送器其它處的印刷電路板上。這些細金線或焊接處容易疲勞而出故障,比如因高振動或快速的壓力循環引起的疲勞。但這種方法仍被其它硅壓力變送器生產廠商使用。
Kulite無引線傳感器中,這些細金屬線及所有與之相關的問題都已經被解決。無引線傳感器主要部件由傳感器芯片和保護層組成。傳感器芯片和保護層晶片通過靜電粘結技術組裝成傳感器膜片。一旦兩個保護層晶片粘合,就只有金屬輸出端焊點被露在外面,同時在硅芯片感應面上的規管電路連接被密封在保護層內。為了避免使用細金線和金球焊接頭,Kulite使用高溫傳導玻璃在感應芯片和特殊設計接頭之間作為電路連接。傳感器膜片再用高溫非傳導玻璃粘結在該特殊設計的接頭上,同時加工保護層晶片孔里的傳導玻璃和處理傳感器芯片上特殊接頭管腳和金屬焊點之間的電路連接。如下圖所示。這些關鍵設計消除了金線的焊接和對感應元件在高溫條件腐蝕環境下的保護,因此這種設計被稱為“無引線”設計,其實就是“無焊接引線”設計,應用這個設計技術的壓力傳感器被叫做“無引線”壓力傳感器。


   綜上所述,無引線傳感器的特點主要有:1、解決了傳統壓力傳感器設計制造中因高振動或快速的壓力循環引起的金線焊接點疲勞引發的故障。2、由于膜片的隔離設計可以使傳感器用于一般腐蝕性或者具有導電性介質的壓力測量。  加速度補償設計:
有很多測量環境非常惡劣,但是需要靜壓的快速響應測量。尤其是旋轉機械部件壓力測量,由于渦輪機械的高旋轉速度,壓力傳感器要承受高離心力和高振動(加速度)。 半導體壓力傳感器是用來測量硅膜片受應力(或壓力)的變化(讓傳感器承受一個正常的應力或壓力,通過應變惠斯登電橋測量這個變化)。然而,在離心力和振動加速度影響下,硅膜片也會發生變化。離心力和振動都能引起偏移誤差和動態誤差。Kulite已經設計出了加速度不敏感型半導體壓力傳感器用于這些場合。如下圖示:        

加速度不敏感型壓力傳感器:
   這種加速度不敏感型壓力傳感器是基于無引線基礎上設計的,由兩個壓力敏感膜片組成,兩個膜片被做在一個硅芯片上。每一個壓力膜片上都用兩個串聯電阻組成一個半橋。兩個膜片都承受慣性應力(振動和離心加速度),但是只有一個膜片受到需要測量的壓力。每個膜片的半橋經電路連接形成一個全橋,對一個膜片施加一個正應力,則從一個半橋的橋路輸出將減去從另一個半橋的橋路輸出,這樣該信號輸出對應該膜片施加的壓力,同時施加在兩個膜片的慣性應力(或者是正常測量壓力以外的應力)對這個信號影響(變化)被抵消。 當然,只有在高沖擊(振動)場合當振動引起的誤差比較大時,才有必要考慮這種加速度補償型傳感器以減小測量誤差。

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