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臺達電源閃亮成都光刻機

發布日期:2022-07-14 點擊率:65

;"> 本文主要描述了臺達電源在光刻機上的良好應用。光刻機由于嚴格的使用環境及對電源性能的特殊要求,使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機在使用臺達電源后,完全達到了設備的設計要求,也將臺達電源優異功能展現得淋漓盡致。

金屬護套的單模光纖傳導光束直徑為微米,接近衍射極限(M2<)高質量激光束,高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅動單模連續波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續波段摻鐿光纖激光模塊發出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產生微米波長的激光,激光在傳輸過程中不斷被放大后擴束輸出。擴束后的激光束投射到振鏡掃描器上,通過計算機控制振鏡快速轉動及激光的開關,使激光束在X、Y方向掃描,通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上,使之表面瞬間燒蝕,最后在件表面形成需要的各種圖形符號。

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